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半导体制造中的湿法清洗技术

湿法清洗即使用化学溶剂或者去离子水清洗 晶圆。 湿法清洗按照工艺方法可分为浸泡法和喷涂 法两种,如图 3 所示。 浸泡法是将晶圆浸入到装有 化学溶剂或者去离子水的容器槽中。 浸泡法是广泛 使用的一种方法, 尤其是针对一些比较成熟的节 点。 而喷涂法是将化学溶剂或者去离子水喷到旋转 的晶圆上以去除杂质的方法。 浸泡法可以同时处理 多个晶圆,喷涂法一个作业腔室只能同时处理一片 晶圆。 随着工艺的发展,清洗工艺的要求越来越高, 喷涂法的使用也越来越广泛。 1.2 干式清洗 顾名思义,干式清洗就是不使用化学溶剂或者 去离子水等物质,而是采用气体或等离子体等来进 行清洗的工艺。 随着技术节点的不断推进,清洗工 艺的要求越来越高 [9-10] ,使用的比例也在不断增加, 湿法清洗产生的废液也是大量增加。

【安裝室內新門尺寸講究風水嗎】要怎麼注意風水問題

今天,新家裝修中,可能想不到室內門風水知識,是否真能影響到我們風水運氣。 傳統風水理論認為,所有門應左邊開,所謂左青龍右白虎,青龍左宜動,白虎右,所以全部門應左開為吉,説人門外,門宜設左側,開門如有左右顛倒,導致家庭紛爭。

属火的字有哪些字

五行属火的汉字大全如下: 阳火:火、炜、炉、烧、炫、熔、煜、炎、焱、炬、炳、煤、炮、烽等带火字旁的字。 阴火:日、旮、旯、晶、晓、坦肢梁晨、智、映、晖、旭、光、电、早、时等带日字旁的字。 火形基本笔划和部首为:火、丙、心、赤、目、丿、メ、忄等。 五行八卦分为阴阳五行和八卦理论。 是古代汉民族的基本哲学概念,是古代的阴阳学说。 "五行"具体是指金行、木行、水行、火行、土行,一直是中国古代汉族先贤从事各种研究的工具与方法,无论道家饥灶、医家、兵家、儒家、史家、杂家、历算家都必须精通"五行"。 八卦,是阴阳、五行的延续,也或将万物分作为八卦。 八卦是:乾、坎、艮、震、巽、离、坤和兑。 八卦通常运用在方位、测卦、风水等学科上。 而最能将八卦发挥得淋漓尽致是梅花易数这学科。

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養蛇要注意些什麼?比一般寵物更省心省力 但這些基本概念要留神

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如花消失演藝圈16年 42歲臉蛋逆齡「膚白皮細」

如花(林雅惠)10幾年前是台灣當紅的女諧星,常化著濃妝扮醜,但她2007年深陷合約糾紛,逐漸淡出螢光幕。 昨(1日)前女團「女F4」成員Amy(葉庭蓁)PO與如花的合照,勾起回憶殺。 還記得如花(林雅惠)嗎?...

八字

生辰八字,簡稱八字,是指一個人出生時的干支歷日期;年月日時共四柱干支,每柱兩字,合共八個字。生辰八字在中國民俗信仰中占有重要地位,古代中國道家、星相家據此推算人的命運的好壞。八字命理學最早可追溯自漢朝,但其時凌亂紛雜、尚不成體系,直到唐代李虛中著述《李虛中命書 ...

符咒(主要是道門宗派修煉的重要的組成部分)

[1] 同時,符咒也是 民間法 教、民間法派、民間法脈的法術。 在全球範圍內,世界各國各民族也有各具特色的符咒法術。 所謂"符咒"是 符籙 與咒語的合稱,分開可稱為" 符術 "與"咒術"。 符籙指記錄於諸符間的仙佛神魔鬼的名諱秘文,符籙指寫在與畫在紙上或其它能書寫符籙的媒介上的文字、圖形、符號等,符籙一般書寫於黃色符紙、紅色符紙、白色符紙、符布、符帛,或可書寫符咒的物體上。 咒是口中誦唸的咒語,咒語是在法術的過程中配合符、印、罡、訣、法器等,用來作法施法。 咒指的是具有特殊音頻效應的口訣,各個教派、宗派的術士廣泛地用以養生輔助、祈福消災或者驅使鬼神以達到施行者的特殊目的。 《 説文解字 》中記載:"祝者咒也。 "

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